ایم ای ایم ایس پریشر سینسر

ایم ای ایم ایس پریشر سینسر جدید پریشر سینسنگ ٹکنالوجی کا مطلق بنیادی اور مرکزی دھارے ہیں۔ وہ منیٹورائزیشن ، ذہانت اور کم قیمت میں انقلاب کی نمائندگی کرتے ہیں۔

 

ایم ای ایم ایس ، یا مائیکرو - الیکٹرو - مکینیکل سسٹم ، سے مراد چھوٹے میکانکی اور الیکٹرانک سسٹمز جو انٹیگریٹڈ سرکٹ (آئی سی) تانے بانے کے عمل کا استعمال کرتے ہوئے سلیکن ویفرز پر بلک میں تیار کیے جاتے ہیں۔

ایک ایم ای ایم ایس پریشر سینسر کا بنیادی ایک مائکومیٹر - اسکیل سلیکن ڈایافرام ہے۔ اس ڈایافرام پر دباؤ عمل کرنے کی وجہ سے یہ خراب ہوجاتا ہے۔ یہ اخترتی مربوط سینسنگ عناصر کی برقی خصوصیات کو بدل دیتی ہے ، اور ان برقی تبدیلیوں کی پیمائش کرکے ، دباؤ کی قیمت حاصل کی جاسکتی ہے۔ سینسنگ اصول کی بنیاد پر ، وہ بنیادی طور پر درج ذیل اقسام میں تقسیم ہیں:

• اصول: سلیکن ڈایافرام پر ڈوپنگ کے عمل کے ذریعے پیزورسٹیو عناصر بنائے جاتے ہیں اور وہٹ اسٹون پل کی تشکیل سے منسلک ہوتے ہیں۔ جب ڈایافرام دباؤ کے تحت خراب ہوجاتا ہے تو ، مزاحمت کی قدر بدل جاتی ہے ، جس کی وجہ سے پل دباؤ کے متناسب وولٹیج سگنل کو آؤٹ پٹ بناتا ہے۔
• خصوصیات: بالغ ٹکنالوجی ، سادہ ساخت ، بڑی آؤٹ پٹ سگنل ، کم لاگت۔ یہ MEMS پریشر سینسر کی سب سے عام اور معاشی قسم ہے۔ تاہم ، یہ درجہ حرارت سے حساس ہے اور درجہ حرارت معاوضہ کی ضرورت ہے۔

• اصول: سلیکن ڈایافرام ایک کیپسیٹر پلیٹ کے طور پر کام کرتا ہے ، جس میں ایک اور فکسڈ پلیٹ کے ساتھ ایک چھوٹے کیپسیٹر تشکیل دیا جاتا ہے۔ دباؤ ڈایافرام کو خراب کرتا ہے ، دونوں پلیٹوں کے مابین فاصلہ تبدیل کرتا ہے ، اور اس طرح اہلیت میں تبدیلی کا سبب بنتا ہے۔
• خصوصیات: کم بجلی کی کھپت ، اعلی حساسیت ، درجہ حرارت کی اچھی خصوصیات ، مضبوط اوورلوڈ مزاحمت۔ اکثر کم - پاور اور کم - دباؤ کی پیمائش کے شعبوں میں استعمال کیا جاتا ہے۔

• اصول: دباؤ سلیکن ڈایافرام میں تناؤ کو تبدیل کرتا ہے ، جو اس پر من گھڑت مینیچر گونج بیم کی قدرتی تعدد کو تبدیل کرتا ہے۔ تعدد تبدیلی کی پیمائش کرکے دباؤ کا احساس ہوتا ہے۔
• خصوصیات: بہت زیادہ درستگی ، اچھی استحکام ، ڈیجیٹل آؤٹ پٹ (تعدد)۔ تاہم ، ڈھانچہ پیچیدہ ہے ، لاگت زیادہ ہے ، اور یہ بنیادی طور پر اعلی - اختتامی صنعتی اور ایرو اسپیس فیلڈز میں استعمال ہوتا ہے۔

ایم ای ایم ایس پریشر سینسر معیاری سیمیکمڈکٹر پروسیس (جیسے فوٹوولیتھوگرافی ، اینچنگ ، ​​بازی ، پتلی - فلم جمع) کا استعمال کرتے ہوئے سلیکن ویفرز پر تیار کیے جاتے ہیں۔ کلیدی اقدام گہا اور پریشر ڈایافرام کی تشکیل کر رہا ہے ، عام طور پر بلک مائکرو مچیننگور سطح مائکرووماچیننگ تکنیکوں کا استعمال کرتے ہوئے۔

روایتی مکینیکل یا دھات ڈایافرام پریشر سینسر کے مقابلے میں ، ایم ای ایم ایس پریشر سینسر کے زبردست فوائد ہیں:

• miniaturization:سائز ملی میٹر یا یہاں تک کہ مائکومیٹر اسکیل کی طرح چھوٹا ہوسکتا ہے ، جس سے ان کو مربوط کرنا آسان ہوجاتا ہے۔
• بڑے پیمانے پر پیداوار اور کم لاگت:ہزاروں میں بیک وقت تیار کیا گیا ، جیسے چپس کی طرح ، ہر سینسر کی لاگت کو تیزی سے کم کرنا۔
• اعلی درستگی اور اعلی وشوسنییتا:کوئی متحرک حصے ، لمبی تھکاوٹ کی زندگی نہیں۔
• کم بجلی کی کھپت:خاص طور پر بیٹری - طاقت والے پورٹیبل ڈیوائسز کے لئے موزوں ہے۔
• ذہانت:سگنل کنڈیشنگ سرکٹس ، مائکرو پروسیسرز ، درجہ حرارت کے سینسر ، وغیرہ ، خود کو آسانی سے اسی چپ پر مربوط کیا جاسکتا ہے ، جس میں خود - compection معاوضہ ، خود -}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}} ch چپ "پر" سسٹم -} پر "سسٹم - تشکیل دیا جاسکتا ہے۔

حوالہ دباؤ ایک خلا ہے۔ یہ ایک کامل خلا کے نسبت دباؤ کی پیمائش کرتا ہے۔

ایپلی کیشنز: الٹیمیٹرز ، ویدر اسٹیشن ، ویکیوم سسٹم۔

حوالہ دباؤ موجودہ ماحولیاتی دباؤ ہے۔ یہ ماحولیاتی دباؤ کے نسبت دباؤ کی پیمائش کرتا ہے۔ عام طور پر رہائش میں وینٹ ہول ہوتا ہے۔

ایپلی کیشنز: بلڈ پریشر مانیٹر ، بیرومیٹر ، صنعتی عمل کنٹرول (جیسے ، پائپ لائن پریشر)۔

ایپلی کیشنز: بہاؤ کی پیمائش ، فلٹر کلگنگ مانیٹرنگ ، مائع کی سطح کی پیمائش۔

ڈاؤن لوڈ، اتارنا ٹیگ: ایم ای ایم ایس پریشر سینسر ، چین ایم ای ایم ایس پریشر سینسر سپلائرز